江门新会龙兴UV喷涂镀膜厂
服务热线 传真号码

 行业新闻你现在的位置:首页 > 新闻中心 > 行业新闻

真空镀膜之蒸腾镀膜机的原理及功用

作者:admin  来源:   更新时间:2015-03-11  阅读数:292
  在真空中制备膜层,包含镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。尽管化学汽相堆积也选用减压、低压或等离子体等真空手法,但通常真空镀膜是指用物理的办法堆积薄膜。真空镀膜有三种方法,即蒸腾镀膜、溅射镀膜和离子镀。
  经过加热蒸腾某种物质使其堆积在固体外表,称为蒸腾镀膜。这种办法最早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技能之一。蒸腾镀膜与其他真空镀膜办法相比,具有较高的堆积速率,可镀制单质和不易热分化的化合物膜。用作真空蒸腾镀的设备称为蒸腾镀膜机。
  电镀设备真空中制备膜层可防止膜料和镀件外表的污染,消除空间磕碰,进步镀层的细密性和可制备单一化合物的特别功用的镀层。关于大面积镀膜,常选用旋转基片或多蒸腾源的方法以保证膜层厚度的均匀性。膜厚决定于蒸腾源的蒸腾速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的间隔有关。从蒸腾源到基片的间隔应小于蒸气分子在剩余气体中的均匀自由程,避免蒸气分子与残气分子磕碰导致化学作用。排气体系通常由机械泵、分散泵、管道和阀门构成。当前所用的蒸腾源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种方法。蒸气分子均匀动能约为0.1~0.2电子伏。薄膜厚度可由数百埃至数微米。
  为了进步镀层厚度的均匀性,真空室内的镀件夹具有行星组织或自转加公转的运动设备,如用行星运动方法,这种运动方法成膜均匀性好,台阶覆盖功用杰出,镀件装载量大,能够充分利用真空镀膜室的有用空间,是当前常常选用的运动方法。蒸腾镀膜机主要由真空室、排气体系、蒸腾体系和电气设备四有些构成。
  蒸腾物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸腾源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。经过加热蒸腾某种物质使其堆积在固体外表,称为蒸腾镀膜。电气设备包含丈量真空和膜层厚度及控制台等。因此,排气体系既需求在较短的时间内取得低气压以保证疾速的作业循环,也需求保证在蒸气镀膜时敏捷排除从蒸腾源和作业物外表所产生的气体。为了进步抽气速率,可在机械泵和分散泵之间加机械增压泵。蒸腾物质的原子或分子以冷凝方法堆积在基片外表。蒸腾式镀膜机常用蒸腾源是用来加热膜材使之汽化蒸腾的设备。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所,直径通常为400~700mm,高400~800mm,用不锈钢制造,有水冷却设备。待体系抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸腾。蒸腾体系包含蒸腾源和加热蒸腾源的电气设备。

本文章出自于:http://www.jmlxdm.com/

江门网站优化亿阳策划
Copyright (C) 2014 江门新会龙兴UV喷涂真空电镀厂 版权所有
本站相关网页素材及相关资源均来源互联网,如有侵权请速告知,我们将会在24小时内删除

网址:www.jmlxdm.com 关键词:江门UV喷涂镀膜厂 百度地图 谷歌地图

友情链接 : 合肥金属喷塑厂
点击这里给我发消息

0750-6423738

在线客服